真空计可用于测量真空度或气压,是利用不同气压下的某种物理效应的变化进行气压的测量,被广泛应用于科研和工业生产中,按照测量原理所利用的不同的物理机制,分为三大类,分别是利用力学性能,利用气体动力学和利用带电粒子效应的,其中,利用带电粒子效应典型应用有热阴极电离规和冷阴极电离规;利用力学性能的典型的有波尔登规和薄膜电容规;而利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼电阻规和电热偶规。
那如何选择合适的真空计呢?接下来小编为大家做一个介绍。
1、从真空设备的工作真空度来选择真空度测控范围,而不是根据使用真空泵或机组的极限真空度来选择,如,系统采用2X旋片泵,其极限真空度可达0.5Pa,但是,由于抽气效率的原因,往往用在100Pa以上,所以应该选择0.1kPa测量下限即可(下限越低,往往精度要求越高,价格也越高)。
2、从真空测量机理的先进性来考虑,应该选择采用新型传感元件的真空计,如硅集成真空传感器、陶瓷基片厚膜电路真空度传感器、陶瓷电容式薄膜真空规等等,而传统老式的热传导类(热偶计、电阻计、皮拉尼计等等),虽然价格稍低些,但其精度低、稳定性差、寿命短,虽然现在也有数字化,但是毕竟是先天不足。
3、合理选择测量精度等级和测量分辨率,一般设备选择1.0级、0.5级就可以了,但是如果是作为精密真空度测量和控制、计量标准器等等,就要选择0.1级、高分辨率的仪表。陶瓷薄膜规对于用来测量管道、容器、空调冰箱部件密封等等用途的真空计选型,可以选择0.5、0.25级精度、但是分辨率为1Pa的高分辨率的仪表,性价比高。
麦氏真空计优点主要突出在当被检测的真空系统如果真空度预抽不到高真空与低真空的交界处时(0.001Pa-----10Pa),由于它自带稳压的功能,使测量出来的数据同样准确,而不带稳压装置的麦氏真空计一般在测量真空时都必须事先对真空计做一次高真空的排气处理;它的外型与德国的KAMMER公司相似,但是它更加优秀于德国的产品。